微电储能设备

在这篇综述中，我们旨在提供有关MESD的背景，基本原理，设备配置，制造工艺和典型应用的全面概述，包括它们的最新进展。 特别注意高级设备配置，例如二维（2D）堆叠，2D平面叉指式，2D任意形状，三维平面和线形结构及其相应的制造策略，例如印刷，划线和遮罩技术。 此外，MESD的最新发展，包括微型电池和微型超级电容器. 微/纳米电子系统和小型便携式设备的迅速发展极大地增加了对小型化和集成电源的迫切需求。 微型储能设备（MESD）具有出色的性能和附加的智能功能，被认为是微系统不间断供电的首选能源。